本系統可用於OLED材料之昇華純化用.與高壓電子零件之燒結用.真空度可達5×10-6 Torr.
於50分鐘內快速升溫至1600℃.爐溫最高可達1700℃.適用於各類實驗用.或小型生產、打樣用燒結爐.
本爐採MoSi2發熱元件,.最高爐溫可達1700℃.3 ZONE.可讓爐內達最均溫之狀態.可用於:藍寶石晶圓應力消除,精密陶瓷燒結或小型量產爐.