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科毅科技股份有限公司(桃園縣楊梅鎮)
1. AG高解析單面及雙面之光罩對準曝光機(手動/半自動/全自動) 2. UV 曝光系統 (DUV, NUV) 3. 手動/自動光阻塗佈，顯影機, 蝕刻機,清洗台 4. 晶圓&光罩清洗機 5. 光罩(母片及子片) 6. 材料:負光阻,顯影液,去光阻液,光罩保護層 7. 高靈敏度科研用CCD (物理影像: X光成像、天文觀測、半導體器件品質檢測等), 單光光譜儀( Raman 光譜、螢光光譜穿透,反射吸引收光等)與光激發光光譜儀(可Mapping)&l

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